표면 입자 평가 통합 패키지 ‘S505 + DD FAB 필름’ 공식 발표
S505 표면입자계수기
반도체 표면·공기 입자 검출 분야 전문 기업 제덱스(JEDEX, www.jedex.com)는 SEMI 표준 E195*에 적합한 표면 입자 평가 솔루션 라인업을 확장해 반도체 가치사슬 전반에 걸친 4대 고객군을 통합 대응하는 패키지 ‘S505 + DD Films’를 공식 발표한다고 5월 20일 밝혔다.
* SEMI E195: Test Method Using Adhesive Replacement Substrates to Assess Particulate Surface Contamination on Critical Chamber Components
이번에 확장된 라인업은 체임버 핵심 부품(Critical Chamber Component, CCC)의 표면 청정도 관리를 단일 측정 기준으로 표준화하기 위한 솔루션으로, 반도체 제조장치사(OEM/IDM), 부품 세정사, 부품사, 그리고 예방정비(PM) 서비스 사업자까지 가치사슬 전 단계에 동일한 기준으로 적용할 수 있는 것이 특징이다.
◇ 선단 노드 미세화가 만든 새로운 표준 - SEMI E195
선단 공정의 미세화로 체임버 내 핵심 부품 표면에 존재하는 단 1개의 파티클이 디바이스 수율에 직접적인 영향을 미치는 시대가 도래했다. 반도체 산업은 이를 정량 평가하기 위한 공식 표준으로 SEMI E195를 채택했으며, OEM·부품사·세정사·PM 사업자 전 가치사슬에서 동일한 측정 언어가 요구되고 있다.
이에 따라 end-user fab의 SEMI E195 적합성 요청은 지속적으로 확대되고 있으며, 가치사슬 상위에서 하위까지 정량적이고 표준화된 표면 청정도 데이터를 확보해야 할 필요성이 커지고 있다.
◇ S505 + DD Films - ARS 방식의 단일 플랫폼 솔루션
JEDEX의 통합 패키지는 SEMI E195의 핵심 측정 방식인 ARS(Adhesive Replacement Substrate, 점착 대체 기판)를 단일 플랫폼에서 구현한다. 점착 필름을 부품 표면에 점착·박리해 입자를 필름 위에 전사한 뒤 광학 장비로 정량 계수하는 비파괴 방식으로, 부품을 분해하거나 세정하지 않고도 표면 청정도를 정량화할 수 있다.
패키지의 핵심 사양은 다음과 같다.
· 표면 입자 계수 시스템 S505
- 검출 범위 5~5000μm / 분해능 2.5μm
- 5μm 입자 계수 효율 ≥ 90%
- 13×8mm 활성 계수 영역, 1클릭 1~2초 처리
- 본체 11kg / 데스크톱 사이즈
· 자체 특허 기반 DD 시리즈 입자 수집 필름
- 표준 권장 모델: DD FAB-200HR(FAB 환경 등급 고점착·고청정)
- 좁은 부위(슬롯·홈·엣지) 추천 모델: DD-500HR
- 본 패키지에서는 4대 고객군 전체에 DD FAB-200HR 단일 모델을 표준 적용
· 분석 소프트웨어 MicroLabo Ver. 9.0.1
- 멀티 레시피·입자별 세부 정보·광학 테스트
- 측정 결과의 Excel 양식 즉시 출력
JEDEX의 DD 시리즈 필름은 한국·중국·EU·일본·미국·베트남 6개국에 국제 특허를 보유하고 있으며, 표면 청정도 측정에서 안정적인 백그라운드 제어를 가능케 하는 핵심 기술로 평가받고 있다.
이 장치와 기술들은 SEMI E195 규격이 제정(2025년)되기 10여 년 전 제덱스가 개발해 판매해 온 장치(특허 보유)의 최신 버전과 역시 10여 년 전 개발해 판매 중인 입자채취필름(특허)을 리뉴얼한 것으로, 제덱스는 이 분야의 기술을 선도하고 있다.
◇ 가치사슬 4대 고객군별 활용 시나리오
JEDEX가 이번 라인업 확장에서 강조하는 것은 동일한 측정 기준이 가치사슬의 각 단계에서 어떻게 서로 다른 비즈니스 가치를 만들어내는가에 대한 명확한 매핑이다.
· 반도체 제조장치사(OEM / IDM)
- 신규 CCC 부품 입고 검수 표준화 및 공정 불량 원인 추적
- OEM-Tier 1 계약상 CCC 부품의 표면 청정도 스펙을 정량으로 명시 가능
· 부품 세정사
- 세정 전·후 동일 영역 정량 비교, SEMI E195 적합 보고서를 출하 패키지에 포함해 부가가치 차별화
· 부품사(Component Maker)
- 수동 로딩 + 1~2초 처리 속도로 라인사이드 QC 운영 가능
- ISO 14644-9 표면 청정도 데이터로 출하 CoA 보강
· PM 서비스 사업자
- 11kg 데스크톱 사이즈로 현장 또는 PM 트럭 단위 운영 가능
- PM 직후 점착 필름 1장으로 핵심 영역을 즉시 진단
◇ 도입 로드맵
JEDEX는 도입을 검토하는 고객사를 위해 다음과 같은 5단계 로드맵을 제공한다.
1. 적용 부품·공정 정의 및 DD 모델 선정
2. 고객사 부품 시료에 대한 점착·계수 데모 및 백그라운드 검증
3. S505 도입과 MicroLabo 운영 교육, 사내 SOP 수립 지원
4. 부품 입고·출하·PM 시점별 측정 기준치 확정 및 보고 양식 표준화
5. 공기 중 입자 모니터링·세정 솔루션 등 JEDEX 라인업으로의 확장
JEDEX는 향후 본 라인업을 기반으로 표면 입자 관리에 그치지 않고, 공기 중 입자 모니터링, Critical Component 검사, 세정 솔루션까지 아우르는 청정도 종합 관리 포트폴리오로 단계적 확장을 이어갈 계획이다.
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기자
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